IC以及4”硅片检查显微镜BX51M

新一代UIS2光学系统,采用波前像差控制技术确保了世界最高等级的成像

可以实现透反射/反射,明场法,暗场法,偏光法,微分干涉法,荧光法,红外法 高质量观察从1.25X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X各种系列的物镜可供选择

适用于从半导体,LCD,LED,到金相分析,材料分析的各种用途

可配用手动开关可切换的各种电动换镜转盘

光学系统	无限远色差校正光学系统
观察筒	30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0或0:100
	30°倾斜，倒像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，三档分光比双目:三目=100：0或20:80或0:100
目镜	高眼点大视野平场目镜PL10X25mm，视度可调
	高眼点大视野平场目镜PL10X25mm，带单刻度十字分划板，视度可调
	高眼点大视野平场目镜PL10X26.5mm，视度可调
	高眼点大视野平场目镜PL10X26.5mm，带单刻度十字分划板，视度可调
物镜	明暗场半复消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X）
	明场半复消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X、100X）
物镜转换器 （带DIC插槽）	明暗场5孔转换器，明暗场6孔转换器
	明场6孔转换器，明场7孔转换器
机架	透反两用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程25mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,双路电源输出，采用数字调光，具有光强设定与复位功能、反射/透射光切换开关,内置透射光滤色镜（LBD、ND6、ND25)
	反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程25mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能
载物台	右手位4英寸机械平台，行程105mmx102mm，带Y轴锁定机构，可带透射系统挡光板，带玻璃载物台板
聚光镜	摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9）
反射照明器	明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽
灯 室	12V100W卤素灯室，透、反射通用，预定中心
其他附件	摄影摄像附件：0.5X，C型接口，可调焦
	起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板
	DIC微分干涉组件
	反射用干涉滤色片：蓝色≤ 480nm 绿色：520nm-570nm 红色：630nm-750nm
	色平衡片（白光）
	高精度型测微尺，格值0.01mm

 

可对裸眼不可见的区域进行无损的检查和分析,以及近红外观察特化的显微镜. 能对半导体晶片内部和集成电路组件背面进行无损的CPS bumps观察